晶圆检测金相显微镜
WMT12系列为大平台半导体检查显微镜,专为芯片/晶圆/LCD行业/ 粒子爆破检查,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美,MT12系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、暗场、简易偏光、微分干涉观察。
■ 所有光学部件均经过特殊处理并镀有特殊膜层
■ 12英寸大平台半导体检查显微镜,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美
■ 12英寸大平台半导体检查显微镜机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术。
■ 各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像
■ 多种高度功能化的附件,能满足半导体检查各种场景需要。
不同于传统的金相显微镜,WMT12金相系统显微镜选择了紧凑的结构设计,外观大气稳重,操作更为灵活。集成了明场、暗场、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用进行选择。





SWH10X-H/25mm高眼点大视野平场目镜, 屈光度可调。
SWH10X-H/25mm超宽25mm视野高眼点目镜,相对常规22mm的视场范围,视野更加平坦,宽广,并且视场边缘都能清晰明亮,给用户更加舒适的视觉感受。提供更加平台的观察范围,提高工作效率。更大值域屈光度调节范围可满足更多用户的使用需求。
亦可选配其它倍率、视场,并根据不同需求添加指针、测微尺及视度可调功能。
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名称 |
倍率 |
数值孔径 |
工作距离 |
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45mm 明暗场物镜 |
5X |
0.15 |
14.8mm |
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10X |
0.30 |
8.5mm |
8.5mm |
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20X |
0.45 |
11.9mm |
11.9mm |
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50X |
0.75 |
3.0mm |
3.0mm |
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100X |
0.80 |
3.0mm |
3.0mm |
偏振系统包括了起偏镜插板和检偏镜插板,可做偏光检测,在半导体和PCB检测中,可消除杂光,细节更去清洗。360度旋转式检偏器可以在不移动标本的情况下,方便的观察标本在不同偏振角度光线下呈现的状态.
在正交偏光的基础上,插入DlC棱镜,可进行DIC微分干涉相衬观察。DIC技术可以使物体表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,大幅提高图像对比度。
采用高性能微分干涉组件,可以将明场观察下无法检测的细微高低差,转化为高对比度的明暗差并以立体浮雕形式表现出来,广泛用于LCD导电粒子,精密磁盘表面划痕检测等领域。
大行程平台含快速移动装置,平台面积710*420mm,玻璃台面:418mm*310mm,移动行程:356mmX305mm机械平台,X、Y方向同轴调节;手动XY载物台通过内嵌的离合器机构和XY调节手柄,可粗调和微调载物台位置。使用离合装置,操作员可在观察中自由移动载物台,提高整体效率。这样,可在使用目镜观察的过程中,不受限制地移动载物台,使得观察速度更快,操作更舒适。
