WGD-BDT40半导体晶圆显微镜

半导体晶圆系列显微镜

型号：WGD-BDT40

产品介绍

WGD-BDT半导体晶圆系列金相显微镜含4、6、8英寸多种平台，可适用不同尺寸的晶圆检测。涵盖明暗场、偏光、DIC等多种观察方式，专业应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、精密模具等检测领域。采用全新LED照明系统和光学系统，照明均匀，成像清晰。显微镜和软件双相控制，能够快速、精确的完成检查，操作更加方便快捷。

机台功能

•   晶圆观察

•   材料分析

•   芯片瑕疵

机台规格参数

• 无限远色差校正光学系统
• 光学放大倍率20X~200X（可选500/1000倍）
• 高眼点大视野目镜，视度可调
• 明场5孔转换器（带DIC插槽）
• 无限远铰链三通观察筒，角度可调，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比双目：三目=100：0
• 无限远超长工作距离高分辨率全复消色差物镜5X/10X/20X/50X（可选配100X）
• 反射用机架，低手位粗微同轴调焦机构，粗调行程35mm，微调精度0.001mm，带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统，采用数字调光，具有光强设定与复位功能

• 4英寸平台，平台面积450mm*240mm，移动行程158mm*158mm机械平台

• X、Y方向同轴调节，含快速移动装置

• 明场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心可调，带滤色片插槽，带起偏镜/检偏镜插槽
• 5W可调LED灯，透、反射通用
• 1X，C型接口，可调焦（可选0.65X）      

130万像素CCD显示系统

CCD功能特性

•   采用千兆以太网接口快速实时传输非压缩图像
•   千兆以太网接口提供了1Gbps带宽，最大传输距离可达100米
•   128M板上缓存，可缓存多张图片，用于突发传输或者重传
•   支持自动曝光控制，用户自定义查打表LUT、Gamma校正等
•   彩色相机植入优异的图像插值算法，更好的颜色还原，并且支持自动白平衡

软体基本功能：

影像直接显示器观察，并直接量测存档

点、线、圆、弧皆可多点测定

影像寻边及自动去毛边功能，使量测过程更轻松、准确

量测数据可输出至WORD、EXCEL进行编修

小数点位数2-5位

角度计算单位：十进制或60进制

影像拍照保存为JPG、BMP等格式

点、圆、线距离

圆、弧（R角）之直径、半径

交点、角平分线、中点

两圆中心距离、最短距离、最长距离

两线之夹角

图形区可存DXF，是CAD逆向工程的最佳利器

可自由设定计算单位：公、英制

可导入图片比对

圆及两线距离两种校正倍率方式

公差计算：平行度、垂直度竺

100倍以上视野内测量精度达到1um